半導体

精密制御と効率的な処理を実現

永久磁石は、効率的な生産と精密な制御のための重要な部品として、モーションプラットフォーム、トランスミッション機構、エッチングマシン、PVD蒸着装置などの半導体チップおよび薄膜製造装置ですでに広く使用されています。当社は、高性能な永久磁石材料とアセンブリを提供することで、半導体装置のあらゆる側面において効率的で信頼性の高いソリューションを提供することに尽力しています。永久磁石材料の製造プロセスにおいて、常に革新と最適化に努めるとともに、様々な半導体プロセス装置における高温、高真空、高精度といった厳しい要件を満たすために、個別の要件に合わせてカスタマイズされた磁気アセンブリを設計・開発し、最適な性能と信頼性を確保しています。プロジェクトの初期段階から生産に至るまで、製品設計が仕様を満たし、システム要件が検証されていることを保証するために全面的なサポートを提供します。

マーケット20

アプリケーション

• ウェーハコンベア処理
• 磁気浮上ワークピーステーブル
• PVD(物理蒸着)
• イオン注入
• 薄膜堆積装置
• 検査とテスト
• ゲージとセンサー
• リソグラフィーシステム
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