マグネトロンスパッタリングアセンブリ
部品
磁石
磁石はマグネトロン スパッタリング アセンブリの重要な部品です。磁気回路の配置と磁場の均一性は、最終的なスパッタリング結果に直接影響します。動作中の電子ビームの放出によって熱が発生するため、磁石には適切な熱抵抗も必要です。
機械加工部品
マグネトロン スパッタリング アセンブリの一般的な機械加工部品には、ベース、ポール シュー、保護ケース、コネクタなどが含まれます。これらは、低炭素鋼、ステンレス鋼、銅、アルミニウム、ナイロンなどの材料で製造されています。水冷条件下では、鉄製コンポーネントを保護するために電気めっきが必要です。
シールリング
シールリングは、コンポーネントチャンバーの完全性を確保し、ガスや水の漏れを防ぐ上で重要な役割を果たします。当社では通常、長期安定した性能を約束する輸入された高品質の工業用シールを使用しています。
ファスナー
これらの締結具には、各種ネジ、ナット、位置決めピン、ワッシャー、止め輪などが含まれます。組立要件に応じて、これらの一部には表面硬化処理が施される場合があります。
組立・検査
標準的な操作手順に従って、個々の部品が組み立てられて、まとまった全体が形成されます。組み立て後、動作要件に応じて、目視検査、表面磁場検査、ヘリウムリーク検査、油圧検査、絶縁検査などの複数の検査が実施されます。
特徴
•高効率: 最先端の磁性材料制御技術を活用した当社の磁性アセンブリは、動作磁場の均一性を高めます。これにより、スパッタリングプロセスが合理化されるだけでなく、コーティングの準備効率とターゲット材料の利用率も向上します。
• 優れた品質: プレミアム素材と高度な製造技術を使用するという当社の取り組みにより、トップレベルの製品品質とパフォーマンスが保証されます。
• 信頼性: 安定性と信頼性を重視して設計された当社のアセンブリは、一貫した長期的なパフォーマンスを約束し、コーティングの品質と準備の効率を保証します。
• 柔軟性: 当社はカスタマイズ製品を提供するための設備を備えており、さまざまなコーティング前処理のニーズに合わせたカスタム設計と製造が可能です。
• 専門知識: 当社の専門家チームは豊富な経験と技術力を誇り、総合的な技術サポートとサービスをお客様に提供します。
当社のマグネトロン スパッタリング アセンブリは、オプトエレクトロニクス、半導体、表面処理などに応用されています。当社はハイエンドのコーティングの準備と研究のニーズに応え、業界の信頼できるパートナーとしての評判を確固たるものにしています。
