半導体装置用高精度マグネット
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半導体装置用高精度マグネット
当社は、最先端のデュアルステージ極端紫外 (EUV) リソグラフィ プラットフォーム用の高精度磁石を導入できることを誇りに思っています。このプラットフォームは、高度な集積回路製造装置の高度な組み立てにおける重要なコンポーネントです。この装置の精度は、半導体チップの集積度と性能を定義するのに役立ちます。このシステムの中心となるのは、機能性と精度の基礎となる超精密、大移動量の 2 次元平面磁気浮上ステージです。
この最先端のアプリケーションでは、従来の製造基準以上のものが要求され、これらのプラットフォームで使用される磁石に対して厳しい要件が設定されています。超高寸法精度、優れた磁気性能、耐食性コーティング、完璧な外観などの仕様には交渉の余地がなく、磁石の精密加工、製造、検査は非常に困難な作業となります。
半導体アプリケーションにおける高精度磁石の特殊な要件を深く理解しているため、これらのコンポーネントを優れた安定性で大量に提供できるようになりました。このハイテク分野におけるお客様の的確なニーズに応えるため、コンサルティング設計、ラピッドプロトタイピング、本格的な生産を含む包括的なカスタマイズサービスを提供します。