マグネトロンスパッタリングアセンブリ
部品
磁石
磁石はマグネトロンスパッタリングアセンブリの重要な部品です。磁気回路の配置と磁場の均一性は、最終的なスパッタリング結果に直接影響します。動作中の電子ビームの放電によって発生する熱のため、磁石は十分な耐熱性も備えていなければなりません。
機械加工部品
マグネトロンスパッタリングアセンブリの典型的な機械加工部品には、ベース、ポールシュー、保護ケース、コネクタなどがあります。これらは、低炭素鋼、ステンレス鋼、銅、アルミニウム、ナイロンなどの材料で製造されています。水冷条件下では、鉄系部品は保護のために電気めっきが必要です。
シールリング
シールリングは、コンポーネントチャンバーの完全性を確保し、ガスや水の漏れを防ぐ上で重要な役割を果たします。当社では、長期にわたる安定した性能を保証する高品質の輸入工業用シールを主に使用しています。
ファスナー
これらのファスナーには、さまざまなネジ、ナット、位置決めピン、ワッシャー、止め輪などが含まれます。組み立て要件に応じて、これらの一部に表面硬化処理を施す場合があります。
組立・検査
標準操作手順に従い、個々の部品が一体化した全体へと組み立てられます。組み立て後、運用要件に応じて、目視検査、表面磁場試験、ヘリウムリーク試験、水圧試験、絶縁チェックなど、複数の試験が実施されます。
特徴
•高効率：最先端の磁性材料制御技術を活用した当社の磁気アセンブリは、動作磁場の均一性を向上させます。これにより、スパッタリングプロセスが効率化されるだけでなく、コーティング準備の効率とターゲット材料の利用率も向上します。
• 優れた品質: 最高級の素材と高度な製造技術の使用に注力することで、最高レベルの製品品質と性能を保証します。
• 信頼性: 安定性と信頼性を考慮して設計された当社のアセンブリは、一貫した長期的なパフォーマンスを約束し、コーティングの品質と準備効率を保証します。
• 柔軟性: 当社はカスタマイズされた製品を提供するための設備が整っており、多様なコーティング準備のニーズに合わせたカスタム設計と製造が可能です。
• 専門知識: 当社の専門家チームは豊富な経験と優れた技術力を誇り、総合的な技術サポートとサービスをお客様に提供します。
当社のマグネトロンスパッタリングアセンブリは、オプトエレクトロニクス、半導体、表面処理など、幅広い分野で利用されています。ハイエンドのコーティング前処理や研究ニーズに応え、業界における信頼できるパートナーとしての評判を確固たるものにしています。
