Wir sind stolz, hochpräzise Magnete für die hochmoderne Dual-Stage Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Platform vorstellen zu können, die eine Schlüsselkomponente bei der anspruchsvollen Montage fortschrittlicher Anlagen zur Herstellung integrierter Schaltkreise darstellt. Die Präzision dieser Anlagen ist entscheidend für die Integration und Leistung von Halbleiterchips. Herzstück des Systems ist die ultrapräzise, zweidimensionale planare Magnetschwebebühne mit großem Hub, die als Grundstein für Funktionalität und Präzision dient.
Diese hochmoderne Anwendung stellt höhere Anforderungen als herkömmliche Fertigungsstandards und stellt strenge Anforderungen an die in diesen Plattformen verwendeten Magnete. Spezifikationen wie ultrahohe Maßgenauigkeit, überlegene magnetische Leistung, korrosionsbeständige Beschichtungen und ein makelloses Äußeres sind unverzichtbar. Dies macht die Präzisionsbearbeitung, Herstellung und Prüfung von Magneten zu einer äußerst anspruchsvollen Aufgabe.
Dank unseres umfassenden Verständnisses der speziellen Anforderungen an Präzisionsmagnete in Halbleiteranwendungen sind wir in der Lage, diese Komponenten in großen Mengen mit bemerkenswerter Stabilität zu liefern. Wir bieten umfassende kundenspezifische Dienstleistungen, darunter Designberatung, Rapid Prototyping und Serienproduktion, um die genauen Anforderungen unserer Kunden in diesem Hightech-Bereich zu erfüllen.
