Wir sind stolz darauf, hochpräzise Magnete für die hochmoderne extreme Ultraviolette (EUV) -Lithographie-Plattform der Dual-Stufe einzuführen, die eine Schlüsselkomponente für die hoch entwickelte Montage von Advanced Integrated Circuit Fertigungsgeräten darstellt. Die Präzision dieser Geräte ist maßgeblich an der Definition der Integration und Leistung von Halbleiterchips beteiligt. Im Mittelpunkt des Systems steht die ultra-präziser, großartigen, zweidimensionalen planaren magnetischen Levitationsphase, die als Eckpfeiler für Funktionalität und Präzision dient.
Diese modernste Anwendung erfordert mehr als herkömmliche Fertigungsstandards und setzt strenge Anforderungen für die in diesen Plattformen verwendeten Magneten. Spezifikationen wie ultrahochdimensionale Genauigkeit, überlegene Magnetleistung, korrosionsbeständige Beschichtungen und ein makelloses Äußeres sind nicht verhandelbar, was Präzisionsbearbeitung, Herstellung und Inspektion von Magneten zu einem sehr herausfordernden Unterfangen macht.
Unser tiefes Verständnis der speziellen Anforderungen an Präzisionsmagnete in Halbleiteranwendungen hat zu unserer Fähigkeit geführt, diese Komponenten mit bemerkenswerter Stabilität in Volumen zu liefern. Wir bieten umfassende Anpassungsdienste, einschließlich Beratungsdesign, schnelles Prototyping und vollwertiger Produktion, an, um den genauen Bedürfnissen unserer Kunden in diesem High-Tech-Bereich gerecht zu werden.
• Konturbearbeitung mit hoher Präzision • Dimensionstoleranz 0,03-0,04 mm • Geometrische Toleranz 0,02-0,04 mm • Vollständige Inspektion mit hoher Präzision drei Koordinatenmaschine
