Präzisionsmagnetbaugruppen für PVD-Geräte
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Präzisionsmagnetbaugruppen für PVD-Geräte
Bei AIC Magnetics sind wir führend in der Permanentmagnettechnologie. Unsere Expertise liegt insbesondere im Bereich der Halbleiterfertigung, wo wir uns auf die Bereitstellung von Schlüsselbaugruppen für Anlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) spezialisiert haben – einem zentralen Verfahren zur Dünnschichtabscheidung von Halbleitern.
PVD-Anlagen spielen eine entscheidende Rolle im Halbleiterherstellungsprozess. Magnetische Baugruppen bilden dabei ihre Kernkomponenten. Diese Technologie nutzt Sputterquellen, um interaktive elektromagnetische Felder in der Prozesskammer zu erzeugen. Diese Interaktion verlängert die Elektronenbahn, erhöht so die Plasmakonzentration und steigert letztlich die Abscheidungseffizienz. Die Konfiguration des Magnetfelds ist für den PVD-Prozess von entscheidender Bedeutung, da sie die Geschwindigkeit und Qualität der Metalldünnschichtabscheidung sowie die Ausnutzung des Targetmaterials direkt beeinflusst.
Wir kennen die spezifischen Anforderungen an Präzisionsmagnetbaugruppen für Halbleiteranwendungen genau. Unsere Produkte werden regelmäßig in großen Stückzahlen ausgeliefert und sind in der Lage, ähnliche internationale Produkte zu ersetzen. Wir bieten einen umfassenden Anpassungsservice – von der Beratung und dem Rapid Prototyping bis hin zur Serienproduktion. So erhalten unsere Kunden maßgeschneiderte Lösungen, die ihren individuellen Bedürfnissen entsprechen.