Präzisionsmagnetbaugruppen für PVD-Geräte
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Präzisionsmagnetbaugruppen für PVD-Geräte
Bei AIC Magnetics sind wir führend in der Permanentmagnettechnologie. Unsere Expertise liegt insbesondere in der Halbleiterfertigung, wo wir uns auf die Bereitstellung von Schlüsselbaugruppen für Anlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) spezialisiert haben – einem zentralen Verfahren zur Dünnschichtabscheidung von Halbleitern.
PVD-Anlagen spielen eine entscheidende Rolle im Halbleiterherstellungsprozess. Magnetische Baugruppen bilden ihre Kernkomponenten. Diese Technologie nutzt Sputterquellen, um in der Prozesskammer interaktive elektromagnetische Felder zu erzeugen. Diese Wechselwirkung verlängert die Elektronenbahn, erhöht so die Plasmakonzentration und steigert letztlich die Abscheidungseffizienz. Die Konfiguration des Magnetfelds ist für den PVD-Prozess von entscheidender Bedeutung, da sie die Geschwindigkeit und Qualität der Metalldünnschichtabscheidung sowie die Ausnutzung des Targetmaterials direkt beeinflusst.
Wir kennen die spezifischen Anforderungen an Präzisionsmagnetbaugruppen für Halbleiteranwendungen genau. Unsere Produkte werden zuverlässig in großen Stückzahlen ausgeliefert und sind in der Lage, ähnliche internationale Produkte zu ersetzen. Wir bieten einen umfassenden Anpassungsservice – von der Beratung und dem Rapid Prototyping bis hin zur Serienproduktion. So stellen wir sicher, dass unsere Kunden maßgeschneiderte Lösungen erhalten, die ihren individuellen Bedürfnissen entsprechen.