Präzisionsmagnetbaugruppen für PVD-Geräte

Bei AIC Magnetics sind wir führend in der Permanentmagnettechnologie. Unsere Expertise liegt insbesondere im Bereich der Halbleiterfertigung, wo wir uns auf die Bereitstellung von Schlüsselbaugruppen für Anlagen zur physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) spezialisiert haben – einem zentralen Verfahren zur Dünnschichtabscheidung von Halbleitern.

PVD-Anlagen spielen eine entscheidende Rolle im Halbleiterherstellungsprozess. Magnetische Baugruppen bilden dabei ihre Kernkomponenten. Diese Technologie nutzt Sputterquellen, um interaktive elektromagnetische Felder in der Prozesskammer zu erzeugen. Diese Interaktion verlängert die Elektronenbahn, erhöht so die Plasmakonzentration und steigert letztlich die Abscheidungseffizienz. Die Konfiguration des Magnetfelds ist für den PVD-Prozess von entscheidender Bedeutung, da sie die Geschwindigkeit und Qualität der Metalldünnschichtabscheidung sowie die Ausnutzung des Targetmaterials direkt beeinflusst.

Wir verfügen über umfassende Kenntnisse der spezifischen Anforderungen an Präzisionsmagnetbaugruppen für Halbleiteranwendungen. Unsere Produkte werden regelmäßig in großen Stückzahlen ausgeliefert und sind in der Lage, ähnliche internationale Produkte zu ersetzen. Wir bieten einen umfassenden Anpassungsservice, von der Beratung und dem Rapid Prototyping bis hin zur Serienproduktion. So stellen wir sicher, dass unsere Kunden maßgeschneiderte Lösungen erhalten, die ihren individuellen Bedürfnissen entsprechen.