Die Magnete sind wesentliche Bestandteile der Magnetron-Sputteranlagen. Die Anordnung der Magnetkreise und die Gleichmäßigkeit des Magnetfelds wirken sich direkt auf das endgültige Sputterergebnis aus. Aufgrund der Wärmeentwicklung durch die Entladung des Elektronenstrahls während des Betriebs müssen die Magnete zudem eine ausreichende Wärmebeständigkeit aufweisen.
Typische bearbeitete Teile der Magnetron-Sputter-Baugruppen sind der Sockel, Polschuhe, Schutzgehäuse, Anschlüsse und mehr. Diese werden aus Materialien wie kohlenstoffarmem Stahl, Edelstahl, Kupfer, Aluminium und Nylon gefertigt. Unter wassergekühlten Bedingungen müssen eisenhaltige Komponenten zum Schutz galvanisiert werden.
Dichtungsringe spielen eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität der Komponentenkammer und verhindern Gas- und Wasserlecks. Wir verwenden in der Regel importierte, hochwertige Industriedichtungen, die eine langfristige, stabile Leistung versprechen.
Zu diesen Befestigungselementen gehören verschiedene Schrauben, Muttern, Positionierstifte, Unterlegscheiben, Sicherungsringe usw. Je nach Montageanforderungen können einige davon einer Oberflächenhärtung unterzogen werden.
Nach Standardverfahren werden die Einzelteile zu einem zusammenhängenden Ganzen zusammengefügt. Nach der Montage werden je nach Betriebsanforderungen verschiedene Prüfungen durchgeführt, darunter Sichtprüfungen, Oberflächenmagnetfeldprüfungen, Heliumleckprüfungen, Hydraulikdruckprüfungen und Isolationsprüfungen.
•Hohe Effizienz: Durch den Einsatz modernster Technologie zur magnetischen Materialsteuerung verbessern unsere Magnetbaugruppen die Gleichmäßigkeit des Arbeitsmagnetfelds. Dies optimiert nicht nur den Sputterprozess, sondern verbessert auch die Effizienz der Beschichtungsvorbereitung und die Ausnutzung des Zielmaterials.
• Überragende Qualität: Unser Engagement für die Verwendung erstklassiger Materialien und fortschrittlicher Fertigungstechniken gewährleistet Produktqualität und Leistung auf höchstem Niveau.
• Zuverlässigkeit: Unsere Baugruppen sind auf Stabilität und Zuverlässigkeit ausgelegt und versprechen eine gleichbleibende, langfristige Leistung sowie garantierte Beschichtungsqualität und Vorbereitungseffizienz.
• Flexibilität: Wir sind gut aufgestellt, um maßgeschneiderte Produkte anzubieten, die kundenspezifische Designs und Fertigungen ermöglichen, die auf die unterschiedlichen Anforderungen der Beschichtungsvorbereitung zugeschnitten sind.
• Fachwissen: Unser Spezialistenteam verfügt über umfangreiche Erfahrung und technisches Können und bietet unseren Kunden ganzheitlichen technischen Support und Service.
Unsere Magnetron-Sputter-Anlagen finden Anwendung in der Optoelektronik, Halbleitertechnik, Oberflächenbehandlung und mehr. Wir erfüllen die Anforderungen der High-End-Beschichtungsvorbereitung und -forschung und festigen so unseren Ruf als vertrauenswürdiger Partner in der Branche.