Magnetron-Sputter-Baugruppen – Ausgewähltes Bild
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Magnetron-Sputter-Baugruppen

Wir sind spezialisiert auf maßgeschneiderte Lösungen für unsere Kunden in Form einer breiten Palette von Magnetron-Sputterkomponenten, darunter Planartargets, Rotationstargets und Disktargets. Diese Komponenten sind mit verschiedenen PVD-Sputtertargetmaterialien und -geometrien kompatibel. Dank unserer hochmodernen Präzisionsbearbeitung können wir ergänzende Teile aus einer Vielzahl von Materialien herstellen und anschließend umfassend montieren und reinigen. Um sicherzustellen, dass unsere Produkte höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards entsprechen, führen wir strenge Tests durch, darunter Prüfungen auf Hydraulikdruck, Isolierung und Gasdichtheit.

 

Wir erfüllen die spezifischen Anforderungen unserer Kunden an Magnetron-Sputterkomponenten. Unsere Dienstleistungen umfassen den gesamten Prozess von der Beratung, dem Design und der Prototypenentwicklung bis hin zur Massenproduktion und bieten kundenspezifische Fertigung im gesamten Zyklus.


Produktdetail

Produkt Tags

Ersatzteile

Semi-PVD-Baugruppe 05

Magnete

Die Magnete sind wesentliche Bestandteile der Magnetron-Sputteranlagen. Die Anordnung der Magnetkreise und die Gleichmäßigkeit des Magnetfelds wirken sich direkt auf das endgültige Sputterergebnis aus. Aufgrund der Wärmeentwicklung durch die Entladung des Elektronenstrahls während des Betriebs müssen die Magnete zudem eine ausreichende Wärmebeständigkeit aufweisen.

Semi-PVD-Baugruppe 06

Bearbeitete Teile

Typische bearbeitete Teile der Magnetron-Sputter-Baugruppen sind der Sockel, Polschuhe, Schutzgehäuse, Anschlüsse und mehr. Diese werden aus Materialien wie kohlenstoffarmem Stahl, Edelstahl, Kupfer, Aluminium und Nylon gefertigt. Unter wassergekühlten Bedingungen müssen eisenhaltige Komponenten zum Schutz galvanisiert werden.

Semi-PVD-Baugruppe 07

Dichtungsringe

Dichtungsringe spielen eine entscheidende Rolle bei der Gewährleistung der Integrität der Komponentenkammer und verhindern Gas- und Wasserlecks. Wir verwenden in der Regel importierte, hochwertige Industriedichtungen, die eine langfristige, stabile Leistung versprechen.

Semi-PVD-Baugruppe 08

Befestigungselemente

Zu diesen Befestigungselementen gehören verschiedene Schrauben, Muttern, Positionierstifte, Unterlegscheiben, Sicherungsringe usw. Je nach Montageanforderungen können einige davon einer Oberflächenhärtung unterzogen werden.

Montage & Inspektion

Nach Standardverfahren werden die Einzelteile zu einem zusammenhängenden Ganzen zusammengefügt. Nach der Montage werden je nach Betriebsanforderungen verschiedene Prüfungen durchgeführt, darunter Sichtprüfungen, Oberflächenmagnetfeldprüfungen, Heliumleckprüfungen, Hydraulikdruckprüfungen und Isolationsprüfungen.

Semi-PVD-Baugruppe 04
Semi-PVD-Baugruppe 01
Semi-PVD-Baugruppe 02

Merkmale

Hohe Effizienz: Durch den Einsatz modernster Technologie zur magnetischen Materialsteuerung verbessern unsere Magnetbaugruppen die Gleichmäßigkeit des Arbeitsmagnetfelds. Dies optimiert nicht nur den Sputterprozess, sondern verbessert auch die Effizienz der Beschichtungsvorbereitung und die Ausnutzung des Zielmaterials.
• Überragende Qualität: Unser Engagement für die Verwendung erstklassiger Materialien und fortschrittlicher Fertigungstechniken gewährleistet Produktqualität und Leistung auf höchstem Niveau.
• Zuverlässigkeit: Unsere Baugruppen sind auf Stabilität und Zuverlässigkeit ausgelegt und versprechen eine gleichbleibende, langfristige Leistung sowie garantierte Beschichtungsqualität und Vorbereitungseffizienz.
• Flexibilität: Wir sind gut aufgestellt, um maßgeschneiderte Produkte anzubieten, die kundenspezifische Designs und Fertigungen ermöglichen, die auf die unterschiedlichen Anforderungen der Beschichtungsvorbereitung zugeschnitten sind.
• Fachwissen: Unser Spezialistenteam verfügt über umfangreiche Erfahrung und technisches Können und bietet unseren Kunden ganzheitlichen technischen Support und Service.

Unsere Magnetron-Sputter-Anlagen finden Anwendung in der Optoelektronik, Halbleitertechnik, Oberflächenbehandlung und mehr. Wir erfüllen die Anforderungen der High-End-Beschichtungsvorbereitung und -forschung und festigen so unseren Ruf als vertrauenswürdiger Partner in der Branche.


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