Magnetron-Sputter-Baugruppen
Ersatzteile
Magnete
Die Magnete sind wesentliche Bestandteile der Magnetron-Sputteranlagen. Die Anordnung der Magnetkreise und die Gleichmäßigkeit des Magnetfelds beeinflussen das endgültige Sputterergebnis direkt. Aufgrund der Wärmeentwicklung durch die Entladung des Elektronenstrahls während des Betriebs müssen die Magnete zudem eine ausreichende Wärmebeständigkeit aufweisen.
Bearbeitete Teile
Typische bearbeitete Teile der Magnetron-Sputter-Baugruppen sind der Sockel, Polschuhe, Schutzgehäuse, Anschlüsse und mehr. Diese werden aus Materialien wie kohlenstoffarmem Stahl, Edelstahl, Kupfer, Aluminium und Nylon gefertigt. Unter wassergekühlten Bedingungen müssen eisenhaltige Komponenten zum Schutz galvanisiert werden.
Dichtungsringe
Dichtungsringe spielen eine entscheidende Rolle für die Integrität der Komponentenkammer und verhindern Gas- und Wasserlecks. Wir verwenden üblicherweise importierte, hochwertige Industriedichtungen, die eine langfristige, stabile Leistung versprechen.
Befestigungselemente
Zu diesen Befestigungselementen gehören verschiedene Schrauben, Muttern, Positionsstifte, Unterlegscheiben, Sicherungsringe usw. Je nach Montageanforderungen können einige davon einer Oberflächenhärtung unterzogen werden.
Montage & Inspektion
Nach Standardverfahren werden die Einzelteile zu einem zusammenhängenden Ganzen zusammengefügt. Nach der Montage werden je nach Betriebsanforderungen verschiedene Prüfungen durchgeführt, darunter Sichtprüfung, Oberflächenmagnetfeldprüfung, Heliumleckprüfung, Hydraulikdruckprüfung und Isolationsprüfung.
Merkmale
•Hohe Effizienz: Dank modernster Technologie zur Steuerung magnetischer Materialien verbessern unsere Magnetbaugruppen die Gleichmäßigkeit des Arbeitsmagnetfelds. Dies optimiert nicht nur den Sputterprozess, sondern verbessert auch die Effizienz der Beschichtungsvorbereitung und die Ausnutzung des Targetmaterials.
• Überragende Qualität: Unser Engagement für die Verwendung erstklassiger Materialien und fortschrittlicher Fertigungstechniken gewährleistet Produktqualität und Leistung auf höchstem Niveau.
• Zuverlässigkeit: Unsere auf Stabilität und Zuverlässigkeit ausgelegten Baugruppen versprechen eine gleichbleibende, langfristige Leistung und garantieren Beschichtungsqualität und Vorbereitungseffizienz.
• Flexibilität: Wir sind gut aufgestellt, um maßgeschneiderte Produkte anzubieten, die kundenspezifische Designs und Fertigungen ermöglichen, die auf die unterschiedlichen Anforderungen der Beschichtungsvorbereitung zugeschnitten sind.
• Fachwissen: Unser Spezialistenteam verfügt über umfangreiche Erfahrung und technisches Können und bietet unseren Kunden ganzheitlichen technischen Support und Service.
Unsere Magnetron-Sputteranlagen finden Anwendung in der Optoelektronik, Halbleitertechnik, Oberflächenbehandlung und vielen weiteren Bereichen. Wir decken anspruchsvolle Anforderungen in der Beschichtungsvorbereitung und Forschung ab und festigen so unseren Ruf als zuverlässiger Partner in der Branche.
